rfdhomo.inp Voltage-driven RF discharge with electron-neutral collisions and a homogenous Background of postive charges to simulate infinitely massive ions. -nsp---nc---nc2p---dt[s]---length[m]--area[m^2]--epsilonr---B[Tesla]---PSI[D]-- 1 100 1e8 1.44036e-10 0.05 0.01 1.0 0.0 0.0 -rhoback[C/m^3]---backj[Amp/m^2]---dde--extR[Ohm]--extL[H]---extC[F]---q0[C]- 8.01e-5 0.0 0.0 0.0 0.0 1.0 0.0 -dcramped--source--dc[V|Amp]--ramp[(V|Amp)/s]---ac[V|Amp]---f0[Hz]--theta0[D]- 0 v 0.0 0.0 100 13.56e6 0.0 --secondary--e_collisional--i_collisional--reflux--nfft--nsmoothing-ntimestep-- 0 0 0 0 1024 2 0 --seec(electrons)--seec(ions)--ion species---Gpressure[Torr]--GTemp[eV]---imp-- 0.0 0.2 2 3e-2 .026 0 ---GAS----psource--nstrt-- 1 0 0 SPECIES 1 ----q[C]-------m[Kg]---j0L[Amp/m^2]---j0R[Amp/m^2]----initn[m^-3]----k--- -1.602e-19 9.11e-31 0. 0. 5e14 1 --v0L[m/s]---v0R[m/s]---vtL[m/s]---vtR[m/s]----vcL[m/s]---vcR[m/s]- 0.0 0. 4.2e5 4.2e5 0. 0. ---vperpt[m/s]---vperp0[m/s]---nbin----Emin[eV]----Emax[ev]---max-np-- 0.0 0.0 150 0.0 50.0 50000 -For-Mid-Diagnostic---nbin----Emin[eV]---Emax[eV]----XStart--XFinish-- 100 0.0 15.0 .020 .030